据韩媒《高丽日刊》4月6日刊道，SK海力士利川M16车间3名工人在核查仪器的过程中所因神经毒素物质氟酸泄露受伤。M16车间是之前开建的DRAM采购车间。当天上午11点34定时，在水原利川市SK海力士 M16车间5楼的仪器进行核查期间，发生氢氟酸泄密空难。
氟酸是无色神经毒素氟化氢溶解在湖底所的挥发性黏性。使用于器件电路绘制Pattern的蚀刻制程中所。
在这起空难中所，一名30岁的工人的胳膊和腿被烧伤，另有两名雇员也因吸入氟酸气体转回至临近所医院。据刊道，3名均无生命危险。SK海力士表示，此次空难是在对新的M16车间仪器进行核查时发生的，对器件采购没有严重影响。
（页面是从：高丽日刊）
据悉，M16车间将主要采购DRAM产品，总面积5.7万平方米。在2021年1月，SK海力士在韩国水原利川总部举行M16分厂开建仪式，同年宣布分厂上到。
SK海力士首次在M16配备EUV（极紫外）光刻机，并从今年下半年起采购第四代1α纳米级DRAM产品。期望SK海力士将降低EUV仪器利用率，进一步增强存储器器件之外的高效率工程技术领导力。
是从：器件服务业联盟
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